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[HF20241076]MEMS工艺开发成交公告

上海市上海

中标公告

 发布单位：火标网  发布日期： 2024-05-14

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招标方

华中科技大学光学与电子信息学院

历史招标: 0

建造师: 0

中标方

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

企业业绩: 8

建造师: 0

公告详情

项目名称	******
招标单位	******	中标金额	******

原始信息

*.项目名称：****工艺开发

*.成交供应商名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所

*.成交供应商地址：上海市长宁路***号

*.成交金额(币种)：*.***万元

*.付款方式：服务完成且验收合格后**个工作日之内付合同金额***%。

*.主要成交标的：

序号	服务内容	服务期限
*	基于***加工工艺制作谐振腔，通过光刻、外延、薄膜淀积、溅射、蒸镀、刻蚀、划片和封装为基本工艺步骤来制造。按以上工艺流程开发，提交包含完整结构的晶圆片。	合同签订后**天之内完成服务
*
*

华中科技大学光学与电子信息学院

****年**月**日

项目官方指定标书制作单位：18652225819

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