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安徽华鑫微纳集成电路有限公司-8英寸MEMS晶圆生产线之蒸发台-招标公告

北京市北京西城区

招标公告

 发布单位：火标网  发布日期： 2024-04-01 11:12:46

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咨询此项目热线：17696581266

详情内容

8英寸MEMS晶圆生产线之蒸发台招标公告

一、项目概况

1.项目名称：8英寸MEMS晶圆生产线之蒸发台

2.项目编号：0709-244035614017

3.供货范围：通过真空泵组排气，在具有加热除气功能且密闭性良好的腔室中建立高真空环境。当腔室内部达到本底真空后，利用电子束蒸发Ti、Pt、Au、Cr、Ta等材料，使其均匀沉积在晶圆表面，以获取相应制备材料的金属薄膜。

4.质量要求：工艺腔室本底真空：优于3E-7Torr；

真空抽速：室温下30分钟从大气抽到3E-6Torr或更优；

真空室漏率：＜7.5E-10Torr•L/s；

冷泵正常工作时，一级温度≤65K，二级温度≤12K；

二、供应商资格要求:

详见中国国际招标网

三、报名方式

本项目采取公开方式选择供应商，有意参与本项目的潜在供应商请登录中国仪器进出口集团有限公司电子招投标平台在2024年04月08日16时30分前报名参加本项目。

四、采购文件的获取

1、采购文件获取地地址：本项目不再提供纸质采购文件，参与本项目的潜在供应商应报名后通过中国仪器进出口集团有限公司电子招投标平台下载采购文件。

2、有意参与本项目的潜在供应商须先在中国仪器进出口集团有限公司电子招投标平台进行注册。注册账号审核通过后，在首页“用户登录”，输入账号及密码登录系统，点击→我要报名，找到《8英寸MEMS晶圆生产线之蒸发台》，点击“我要报名”，即可查看项目信息并报名参与项目。只有登记购买本招标文件的投标人才具有参与投标的权利。

五、投标地点及开标地点：

北京市西城区北三环中路25号英斯泰克大厦5层会议室

请投标人的法定代表人或其授权的投标人代表出席开标仪式。

六、公告媒体

本公告在在“中国政府采购网”和中国仪器进出口集团有限公司电子招投标平台发布。对于其他媒介发布的本项目公告，招标代理机构对其准确性不承担任何责任。

七、凡对本次招标提出询问，请以信函或电子邮件的形式与中国仪器进出口集团有限公司联系：

招标代理机构：中国仪器进出口集团有限公司

地址：北京市丰台区通用时代中心

邮编：100073

联系人：陶宇

联系电话：01060961520

电子邮件：tangyutong1@cnic.gt.cn

采购人：安徽华鑫微纳集成电路有限公司

地址：安徽省蚌埠市东海大道888号

电话：13906020315

中国仪器进出口集团有限公司

2024年03月29日

项目官方指定标书制作单位：18652225819

地区分站

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