序号

货物名称

数量

单位

简要技术参数(详见谈判文件)

1

先进传感器与智能检测实验室建设

1

批

功功能需求：

先进传感器与智能检测实验系统包含1个原位电学冷热台、1个控温模块、1个水冷机、1个电学测试系统(双通道)、1个静态配气模块，1个气氛及湿度控制模块，可以提供1路背景气、2路目标气、1路快切气路、2路湿度控制气路，可进行精确的电学测试、温度控制和气氛及湿度控制，且后续具有极高的可扩展性，可以通过增加外围模块，实现光敏、光敏气敏、光电等多维传感器的研究测试。

I.原位电学冷热台

1.原位电学冷热台配置两路反应气接口和一路真空接口，可通过卡套、快插与配气系统及真空泵相连接；

点击查看相关链接热台，尺寸33 mm*32 mm，含水冷快速接头，上下一体化水冷，配置水冷机一台进行循环水冷保护

2.原位电学冷热台内置探针座及夹具：4套；

3.配置4个BNC或者三同轴连接器，支持双通道测试；

4.原位电学冷热台体积：≤200mL；

5.物镜工作距离≤10mm，石英观察窗口，直径≥30mm；

6.腔室体积：≤150mm*150mm*40mm；

II.控温模块

1.控温范围：≥室温~400℃连续可调；分辨率/稳定度：0.2 ℃；

2.控制方式：通过触摸屏控温，支持设置≥40 段程序控温，触摸屏同时支持环境温度、湿度和压力等参数实时显示

III.电学测试系统

1.电学测试系统采用双源表配置，支持双通道测试，四线或两线测量；

2.电流范围：200pA~200 mA；电阻测量范围：≥1Ω~10GΩ；电压范围：≥±200 mV~±5 V；

3.测试模式：I-t，R-t，I-V等；支持多信号如温度、湿度、压力等信号与电学信号同步采集；

4.软件支持多种灵敏度格式，包括Ra/Rg、Rg/Ra、|Ra-Rg|/Ra自动转换；

IV.静态配气模块

★1.配置静态配气模块1个，体积≥1L，与小腔体配合使用，支持静态配气，支持液体蒸发温度≥室温~170℃，内置有高精度温湿度传感器1个

2.配置液体蒸发配气小软件1套，内含集成的液体种类≥60种，支持自动添加新增液体

V.气氛及湿度控制模块

1.支持为传感器提供精准的气氛和湿度氛围，支持直接使用各类气体气源(如 NOx、H2S、CO 等)的动态配气。控湿部分既可单独进行湿度控制，也可用于配置不同湿度的各种气体。

2.气路通道包括1路背景气路、1路快切气路、2路目标气体气路；2路湿气气路(干气和湿气)；

3.背景气路：满量程≥ 1000 sccm，控制范围 2%~100%；

4.快切气路：满量程≥ 1000 sccm，控制范围 2%~100%；

5.目标气路1：满量程≤ 100 sccm，控制范围 2%~100%；

6.目标气路2：满量程≤ 10 sccm，控制范围 2%~100%；

7.干气气路：满量程≥ 1000 sccm，控制范围 2%~100%；

8.湿气气路：满量程≥ 1000 sccm，控制范围 2%~100%；

9.湿度控制：范围 2%RH~90%RH；精度：≥±1%RH，稳定度 ≥0.5%RH(RT 标定)，湿度模块内置有高精度温湿度传感器，支持自调节，支持对气体控湿

10.提供标准传感器接口和微型传感器测量腔：体积≤ 60mL，动态气氛切换快；

11.配置全自动控制软件，支持多段气体流程配气，支持浓度和流量两种模式，支持预混，内置气体参数≥160种。

12.配置便携式气体传感器分析模块，蓝牙传输，安卓手机APP实时检测分析数据(电阻和浓度均可输出)，电阻测试范围≥10Ω-200MΩ，加热范围≥0-100mA，支持传感器测量与标定。

VI.其他

1.小型磁控溅射机要求，直流溅射电源，最大功率≤1000W，溅射真空≤10Pa；样品台可旋转，含机械泵。

2.小型涂布机要求：涂布厚度：0.005-5MM(湿膜)，刮涂精度：0.003mm0.001mm线棒，室温~160 度(可恒温)。

3.测试系统配备防静电重型实验台两套：高密度聚合板，橡胶脚杯，钢管，3层带灯架及双抽屉柜，150*60*160mm。

是否允许代理商参加

是

采购项目所需的

特殊要求

无

交货地点

太原工业学院工训2号楼3层

款项支付方式

货物交付到现场，安装调试、培训完毕，验收合格后，学校一次性支付100%的合同款项。

履约保证金

合同签订之前，中标方(成交供应商)以非现金方式缴纳合同金额的5%作为履约保证金，由采购方确认中标方(成交供应商)合同主要义务履行完毕验收合格后60日内无息退还。

执行标准

详见谈判文件第五部分商务、技术要求。

验收标准

详见谈判文件第五部分商务、技术要求。

服务要求

详见谈判文件第五部分商务、技术要求。

相关政策要求

详见谈判文件第五部分商务、技术要求。