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中科院重庆绿色智能技术研究院 - 竞价公告 (CBCIGIT2021000065)

重庆市重庆

招标公告

 发布单位：火标网  发布日期： 2021-07-06 16:37:58

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中科院重庆绿色智能技术研究院 - 竞价公告 (CBCIGIT2021000065)

发布时间：****-**-** **:**:** 截止时间：****-**-** **:**:**

基本信息：

申购单号：

CBCIGIT2021000065

申购主题：

衍射调制动态曝光装置

采购单位：

中科院重庆绿色智能技术研究院

报价要求：

国产含税

发票类型：

增值税普通发票

币种：

人民币

预算：

******

签约时间：

发布竞价结果后7天内签约合同

送货时间：

发布竞价结果后90天内送达

安装要求：

免费上门安装(含材料费)

收货地址：

重庆市/市辖区/北碚区/****

我要报价

付款方式：

货到验收合格后付款

备注说明：

申购明细：

序号

采购内容

衍射调制动态曝光装置

数量

1台

预算单价

品牌

无

型号

无

规格参数

1、有效曝光面积：大于160mm*160mm；2、光强范围：0.5mW/cm2~15mW/cm2范围内可调；3、光强调节精度：优于0.1mW；4、曝光均匀性：6寸范围优于±1.5%，2寸内优于±0.5%；5、X\Y方向运动精度及重复定位精度：优于100nm；6、X\Y运动行程：≥5mm；7、X\Y运动直线度：5mm距离不大于500nm；8、X\Y运动速度：≥500nm/s；9、X\Y运动速度编程精度：优于100nm/s；10、X\Y运动时间量程：≥3600s；11、X\Y运动时间控制精度：优于0.1s；12、X\Y运动电机启停与光源曝光同步性：优于0.1s；13、X\Y运动与掩模平行度：2mm范围优于1um，同时能检测；14、Z方向行程：≥20mm；15、Z方向运动精度及重复定位精度：优于1um；16、承片台吸附基片，需考虑基片形变问题(可考虑多孔抽真空吸附方式)；17、可以高精度调平及分离；18、Z方向编程控制精度：优于1um；19、水平方向旋转范围±5°，旋转分辨率±0.02°；20、承载台需按晶圆外形设计，具有4寸、6寸、8寸等多种规格；21、掩模架需要配备5寸、7寸、8寸等多种种掩模架；22、软件需具备功能包括：定时曝光、步进曝光、连续曝光三种模式；23、具有对准显示、调平、调旋转功能；24、曝光机工作台具有一定防震功能；25、能够完成连续面型微纳结构光学元件的制备，面型精度优于PV100nm，表面粗糙度优于Ra 5nm。

质保及售后服务

按行业标准提供服务

项目官方指定标书制作单位：18652225819

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