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项目概况
等离子增强化学气相沉积系统 招标项目的潜在投标人应在登录后查看(北京市丰台区广安路9号国投财富广场6号楼1601室)获取招标文件,并于登录后查看 14点00分(北京时间)前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号:****-****-******
项目名称:等离子增强化学气相沉积系统
预算金额:***.****** 万元(人民币)
采购需求:
碳基栅叠层项目是为推动碳基芯片的发展而设立,氧化硅和氮化硅薄膜是碳基器件测墙薄膜主要组成,等离子增强化学气相沉积是沉积氧化硅和氮化硅薄膜最主要的工艺,具有沉积速率快,沉积温度低的特点,其原理是在射频源驱动下,通过感应耦合***方式、在反应腔的上电极、下电极之间生成高密度等离子体,通过气路系统进入反应腔的工艺气体分子被电离生成等离子体;等离子体中的自由基发生化学反应、生成氧化硅、氮化硅等介质,在衬底材料(例如硅、砷化镓等半导体材料)上沉积成固体薄膜,对推进碳基集成电路的研发非常重要。具体详见招标文件第四章采购需求。
合同履行期限:合同签订后***天交货并安装完毕
本项目(不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求:
*.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;
*.落实政府采购政策需满足的资格要求:
无
*.本项目的特定资格要求:(*)投标人必须为投标文件递交截止之日前未被列入“信用中国”网站(登录后查看)、中国政府采购网(登录后查看)信用记录失信被执行人、重大税收违法失信主体、政府采购严重违法失信行为记录名单的;(*)不同投标人的法人、单位负责人不是同一人也不存在直接控股、管理关系;(*)投标人必须向采购代理机构购买招标文件并登记备案,未向采购代理机构购买招标文件并登记备案的无资格参加本次投标;(*)本项目不接受联合体投标;(*)本项目接受进口产品;(*)本项目非专门面向中小企业
三、获取招标文件
时间:****年**月**日 至****年**月**日,每天上午*:**至**:**,下午**:**至**:**。(北京时间,法定节假日除外)
地点:登录后查看(北京市丰台区广安路*号国投财富广场*号楼****室)
方式:现场获取,携带现金,招标文件售后不退。
售价:¥***.* 元,本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间:****年**月**日 **点**分(北京时间)
开标时间:****年**月**日 **点**分(北京时间)
地点:北京市丰台区广安路*号国投财富广场*号楼**层****第一会议室
五、公告期限
自本公告发布之日起*个工作日。
六、其他补充事宜
*、本项目需要落实的政府采购政策:节约能源、保护环境、扶持不发达地区和少数民族地区、促进中小微企业发展、支持监狱、戒毒企业发展、促进残疾人就业、支持脱贫等政府采购政策。
*、本项目招标公告在中国政府采购网(登录后查看)上发布。
七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。
*.采购人信息
名 称:北京大学
地址:北京市海淀区颐和园路*号
联系方式:吴老师********
*.采购代理机构信息
名 称:登录后查看
地 址:北京市丰台区广安路*号国投财富广场*号楼****室
联系方式:崔丽洁、赵娜、刘金秀、金珊***-********-****/****
*.项目联系方式
项目联系人:崔丽洁、赵娜、刘金秀、金珊
电 话: ***-********-****/****
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