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光刻机（JJ20240575）采购公告
重庆
采购公告
  发布单位： 火标网  发布日期： 2024-04-10 16:51:07
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详情内容
项目名称 光刻机 项目编号 **********
公示开始日期 ****-**-** **:**:** 公示截止日期 ****-**-** **:**:**
采购单位 重庆大学 付款方式 货到验收合格付款
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系电话 中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求 成交后*个工作日内 到货时间要求 合同签订*个工作日内
预算 未公布
质保金(元) 无 发票要求 增值税专用发票(税率**%)
是否外贸 否
供应商资质要求 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
收货地址 重庆大学
采购清单 *
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类
光刻机 * 台 电子工业生产设备
品牌 中科院光电所***
规格型号 ***-****/****
技术参数 *.曝光面积：*****×*****；*.曝光波长：*****(***光源，可根据用户需求选择汞灯光源)； *.分辨力：≤*.*μ*；*.对准精度：±* μ*；*.对准系统扫描台运动范围至少满足： *:****；*:±****(*向数字设定，精度≤***)*.双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过***+显示器对准，光学合像，光学最大倍数***倍，光学+电子放大***倍，物镜三对：*倍、**倍、**倍，目镜三对：**倍、**倍、**倍；*.掩模尺寸*.*英寸，*英寸，*英寸，*英寸 *英寸(其他尺寸可定制)； *.样片尺寸：碎片，*英寸， *英寸，*英寸，*英寸(其他尺寸可定制)；*.适应样品厚度：*.*-***，最大可支持****的样片(定制)；**.曝光方式：定时(倒计时方式)；**.照明不均匀性：＜*.*%；**.掩模相对于样片运动行程至少满足：*: ±***; *: ±***;**.曝光能量密度：>****/**；**.光源平行性：≤*.*°；**.对准位和曝光位双工位工作，双工位伺服电机自动切换；**.调平接触压力通过传感器保证重复性；**.可数字设定对准间隙和曝光间隙，*-***数值化可调；**.具备膜厚测量模块接口，也具备纳米压印接口；**.触摸屏操作。
售后服务 电话支持:****小时;质保期限:*年;响应时间:*小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;


重庆大学


****-**-** **:**:**

项目官方指定标书制作单位：18652225819
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